4.3 周期（设备周期） - 一个设备系统或子系统的完全操作过程（包括装卸产品），有流程、制造、测试步骤。在一个单元流程系统中，周期数等于流经的单元数。在多批系统中，周期数等于批量数。

　　4.4 停工时间（设备停工时间）- 设备不在工作状态或没有执行到它应有水平的时间，不包括任何不在计划安排上的时间。

　　4.5 故障（设备故障）- 在没有外来干涉下发生的意外故障或偏离。

　　   注释2：正确分类设备故障对于方便解决问题和提高设备能力是非常重要的。

　　4.6 宿主 - 联系设备的智能系统，作用相当于代表工厂领导下属的制造主任。（比如，一个非植入的计算机或单元控制器）

　　4.7 中断-任何干预和故障

　　注释3：中断＝干预之和＋故障之和

　　4.8 维修-保证设备在预定功能状态下工作。在本文献中，维修的目的是功能不是设备结构；不论是谁来维修，它都包括调整、材料变化、软件开放、修理、预定检测等等。

　　4.9 制造时间-所有生产产品的时间及相应停留等待时间。

　　4.10 非计划时间-计划中设备不在用于生产的时间。

　　4.11 生产时间-总时间减非计划时间。

　　4.12 操作工-在设备旁通过设备控制面板操作设备的人员。

　　4.13 产品-可以成为有功效的半导体装置的一个单元，包括功能的工程装置。

　　4.14 断工-为使设备能继续工作的一段维修时间，包括冲洗、冷却、加热、软件备份、储存、动态数据（包括参数、方法）、断工发生在计划内和计划外的停工时间内。

　　4.15 复工-在断工维修后，使设备恢复正常功能工作的一段维修时间。包括冲气、加热、标准化时间、初始化常数、载入软件、重贮数据（例参数、方法）、控制系统再建等等。但不包括设备及流水线检测时间。复工也发生在计划内外的停工时间内。

　　4.16 关机-当设备有计划外状态时，让设备回到安全状态的时间。它包括为了达到安全状态所做的任何过程。关机仅出现在计划外时间中。

　　4.17 规范（设备操作）-文献中所写的在使用者与供应商之间在设备操作的规定条件下的功能所达成的一致条款。

　　4.18 开始-设备从计划状态到达成预期功能所需的时间。包括冲气、加热、冷却、标准化时间、初始化常数、载入软件、重贮数据（例参数、方法）、控制系统再建等等，开始包括于计划外时间中。

　　4.19 辅助工具-不属于生产设备，但是在正常操作中必需的设备。（比如，密封盖、运载机、探测卡片、电脑控制器）