4.20 总时间-一周7天，1天24小时的所有检测时间。为了正确表达总时间，设备的所有6种基本状态必须正确记录。

　　4.21 培训（工作外）-在工作外时间对设备操作和维修进行的指导。它包括于计划外时间。

　　4.22 培训（线上）-在正常工作时对个人操作和维修进行的指导。线上培训一般不会打断正常的操作和维修活动，所以它可以不被区别的包括在任何设备状态中（除等待与计划外时间）

　　4.23 单元-任何晶片，模，成套设备或单位零件。

　　4.24 工作时间-设备处于正常功能状态的时间，包括有效生产的、等待的和策划时间，不包括任何计划外时间。

　　4.25 使用者-动作于设备的实体，无论是在设备旁的操作者或在远处遥控的自动界面。从设备的角度出发，操作者和宿主都是使用者。

　　4.26 校正运行-设备的一次循环（使用产品单元，非产品单元或不成单元的）以用来引导设备进入规范中的预定状态。

　　5. 设备状态

　　5.1 为了清楚地检测设备地表现，本文献定义了所有设备状况和时期必须遵循地6种基本状态。

　　5.2 设备状态是由功能决定而不是由设备结构决定。例如任何维护过程都是这样分类，而不论谁是操作者、操作工、技术人员或流程工程师。

　　5.3 图1是6种设备状态的框架图。关键的时间块在后文的等式中将会特别用到。这些基本的设备状态又可以分成许多子状态，以满足生产运转所需的追踪解决。SEMIE10并没有列出所有的子状态，但是给出了许多例子用以指导。



　　图1 设备状态框架图

　　5.4 有效状态-设备按预定功能工作的时间。有效状态包括：
 　　c 常规生产（包括装卸产品）
 　　c 为第三方工作
 　　c 返工
 　　c 与生产结合的操纵。可能是或不是产品单元（比如，分批和新运用）。

　　5.5 等待状态-在这段时间内，设备是在正常功能状态下，基础设施和化学材料都准备好了，但是不在生产。它不是计划外的。等待状态包括：
 　　c 没有操作工（包括休息、午餐和会议）
 　　c 没有产品（包括由于缺乏辅助设备比如计量工具造成的缺少产品）
 　　c 没有辅助工具（例如密封盒、芯片传输器、探测卡）
 　　c 没有从自动系统来的输入信号（例宿主）

　　5.6 工程状态-设备处在正常功能状态下（没有设备和流程问题存在），但是用于工程实验的时间。包括：
 　　c 过程工程（过程塑造）
 　　c 设备过程（设备评估）
 　　c 软件工程（例限定软件）

　　5.7 计划内停工状态-设备按计划停止正常功能工作的一段时间。包括：